精密測量技術(shù)發(fā)展方向

近年來(lái)，精密測量技術(shù)發(fā)展迅速，成果喜人。例如在線(xiàn)測量技術(shù)，已可進(jìn)行加工狀態(tài)的實(shí)時(shí)顯示，及時(shí)檢測是否出現異常狀況，從而可大幅度提高生產(chǎn)效率。對于機床控制裝置，則要求高精度化、低成本和小型化。因為諸如汽車(chē)發(fā)動(dòng)機等均要求其組成零部件必須具有非常高的精度，以便減少噪聲、防止環(huán)境污染和節省能耗，這些都是時(shí)代對制造業(yè)提出的緊迫要求。

    在高精度加工和質(zhì)量管理過(guò)程中，隨著(zhù)光機電一體化、系統化的發(fā)展，光學(xué)測量技術(shù)有了迅速的發(fā)展，相應的測量機產(chǎn)品大量涌現，測量軟件的開(kāi)發(fā)也日益受到重視。

    近年來(lái)，利用光學(xué)原理開(kāi)發(fā)的非接觸測量機及各種裝置非常多。如MARPOSS公司的非接觸式工具測量系統MidaLaser就是利用激光測頭的新型測量機，該機可在CNC機床保持運轉的情況下，自動(dòng)對所有工具進(jìn)行非接觸測量，并可根據測量所得數值，對工具進(jìn)行自動(dòng)定位。索尼精密工程公司的非接觸形狀測量機YP20/21也是利用半導體激光高速高精密自動(dòng)聚焦傳感器的形狀測量機，所有刻度尺均系標準元件，傳感器和載物臺均由微型計算機控制，具有優(yōu)異的操作性能和數據處理功能。YKT公司銷(xiāo)售的非接觸三坐標測量系統Zip250是一種高剛性、高速、高精密的新型測量機。該機載物臺的承載量為25千克，刻度尺的分辨力（X、Y、Z軸）均為0.25微米。機上裝配了帶數碼法蘭盤(pán)的CCD攝像機和DSP處理器，因此，可進(jìn)行高速圖像處理測量，同時(shí)，也可與接觸式測頭并用進(jìn)行相關(guān)測量。

    隨著(zhù)非接觸、率測量機的大量出現，專(zhuān)家們預計，21世紀測量技術(shù)的發(fā)展方向大致如下：　

（1）測量精度由微米級向納米級發(fā)展，進(jìn)一步提高測量分辨力；

（2）由點(diǎn)測量向面測量過(guò)渡，提高整體測量精度（即由長(cháng)度的精密測量擴展至形狀的精密測量）；

（3）隨著(zhù)圖像處理等新技術(shù)的應用，遙感技術(shù)在精密測量工程中將得到推廣和普及;

（4）隨著(zhù)標準化體制的確立和測量不確定度的數值化，將有效提高測量的可靠性?？傊?，測量技術(shù)必須實(shí)現高精度化，同時(shí)也要求實(shí)現高速化和率化，因此，非接觸測量和率測量也就必然成為新世紀精密測量技術(shù)的重要發(fā)展方向。

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